為了在潔凈室運(yùn)行過程中及時(shí)了解與判定潔凈室環(huán)境，特別是一些關(guān)鍵區(qū)域或部位所處的狀態(tài)，是否始終符合生產(chǎn)或科研所規(guī)定的技術(shù)指標(biāo)，潔凈室管理者需要對(duì)其主要技術(shù)指標(biāo)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控或周期性監(jiān)測(cè)。一些高級(jí)別潔凈室為此對(duì)一些關(guān)鍵指標(biāo)：潔凈度、溫度、濕度和惰性氣體等設(shè)置了連續(xù)巡查的裝置，以便隨時(shí)考核潔凈室的受控狀態(tài)。
1、遠(yuǎn)程激光粒子計(jì)數(shù)傳感器
這類設(shè)備習(xí)慣上又稱為“遠(yuǎn)程空氣顆粒傳感器”，實(shí)際上是個(gè)以簡(jiǎn)易的激光粒子計(jì)數(shù)器為主體并附設(shè)有溫度、濕度及惰性氣體傳感器的裝置。它們往往被設(shè)置在潔凈室的關(guān)鍵部位，依據(jù)指令對(duì)所監(jiān)控的環(huán)境進(jìn)行空氣采樣，并將結(jié)果以標(biāo)準(zhǔn)電訊號(hào)或其它通信方式輸出并傳至控制中心的電腦，供潔凈室管理者根據(jù)需要隨時(shí)監(jiān)測(cè)環(huán)境狀態(tài)。有些設(shè)備還可根據(jù)需要給出報(bào)警信號(hào)，其工作原理示意如圖：

（1）4803/4805遠(yuǎn)程空氣顆粒傳感器
特點(diǎn)：長(zhǎng)壽命鐳射技術(shù)。
流速：0.1cfm（2.83L/min），可最小監(jiān)控0.3um（4803）和0.5um（4805）粒徑顆粒；2個(gè)粒徑尺寸和RS485連續(xù)通信方式。
應(yīng)用：電子廠潔凈室空氣監(jiān)控，惰性氣體采樣和微環(huán)境監(jiān)控。
性能：監(jiān)控最小粒徑0.3um（4803）和0.5um（4805），流速采用小流量0.1cfm（2.83L/min）。
粒徑通道：R4803CH1/CH2：0.3/0.5um；R4805CH1/CH2：0.5/5.0um。
激光光源為激光二極管（10年MTTF）；濃度損失為＜5%@2000000顆/ft³；電源采用6VDC（+10%）＜125mA。
（2）4903/4905遠(yuǎn)程空氣顆粒計(jì)數(shù)儀
特點(diǎn)：長(zhǎng)壽命鐳射技術(shù)。
流速：0.1cfm（2.83L/min），可最小監(jiān)控0.3um（4903）和0.5um（4905）粒徑顆粒；2個(gè)粒徑尺寸通道；4～20mA輸出和延遲報(bào)警。
應(yīng)用：電子廠潔凈室空氣監(jiān)控，惰性氣體采樣和微環(huán)境監(jiān)控。
性能：監(jiān)控最小粒徑0.3um（4903）和0.5um（4905）。
粒徑通道：R4903CH1/CH2：0.3/0.5um；R4905CH1/CH2：0.5/5.0um。
激光光源為激光二極管（10年MTTF）；濃度損失為＜5%@2000000顆/ft³；電源采用6VDC（+10%）＜125mA；電流回路供電15～30VDC。
（3）5813/5815遠(yuǎn)程空氣顆粒傳感器
特點(diǎn)：長(zhǎng)壽命鐳射技術(shù)和不銹鋼外殼。
流速：1cfm（28.3L/min），可最小監(jiān)控0.3um（5813）和0.5um（5815）粒徑顆粒；2個(gè)粒徑尺寸通道和RS485連續(xù)通信方式。
應(yīng)用：電子半導(dǎo)體廠潔凈室空氣監(jiān)控，惰性氣體采樣和微環(huán)境監(jiān)控。
性能：監(jiān)控最小粒徑0.3um（5813）和0.5um（5815），流速采用大流量1cfm（28.3L/min）。
粒徑通道：R5813CH1/CH2：0.3/0.5um；R5815CH1/CH2：0.5/5.0um。
激光光源為激光二極管（10年MTTF）；濃度損失為＜5%@400000顆/ft³；電源采用12～28VDC@＜300mA；數(shù)據(jù)輸出方式為RS485。
（4）5913/5915遠(yuǎn)程空氣顆粒傳感器
特點(diǎn)：長(zhǎng)壽命鐳射技術(shù)和不銹鋼外殼。
流速：1cfm（28.3L/min），可最小監(jiān)控0.3um（5913）和0.5um（5915）粒徑顆粒；2個(gè)粒徑尺寸通道和4～20mA輸出。
應(yīng)用：電子半導(dǎo)體廠潔凈室空氣監(jiān)控，惰性氣體采樣和微環(huán)境監(jiān)控。
性能：監(jiān)控最小粒徑0.3um（5913）和0.5um（5915），流速采用大流量1cfm（28.3L/min）。
粒徑通道：R5913CH1/CH2：0.3/0.5um；R5915CH1/CH2：0.5/5.0um。
激光光源為激光二極管（10年MTTF）；濃度損失為＜5%@400000顆/ft³；電源采用12～28VDC@＜300mA；數(shù)據(jù)輸出方式為4～20mA。
（5）4503/4505遠(yuǎn)程空氣顆粒傳感器
特點(diǎn)：長(zhǎng)壽命鐳射技術(shù)從而降低了使用成本。
流速：1cfm（28.3L/min），可最小監(jiān)控0.3um（4503）和0.5um（4505）粒徑顆粒；2個(gè)粒徑通道；0.3～5.0um和0.5～10.0um監(jiān)測(cè)范圍；RS422脈沖或者RS585Modbus，輸出接線方式為RJ45與FMS系統(tǒng)連接和通信。
應(yīng)用：電子半導(dǎo)體廠潔凈室空氣監(jiān)控，惰性氣體采樣和微環(huán)境監(jiān)控。
性能：監(jiān)控最小粒徑0.3um（4503）和0.5um（4505），流速采用小流量0.1cfm（2.83L/min）。
粒徑通道：0.3～5.0um（4503）；0.5～10.0um（4505）。
計(jì)數(shù)效率：50%@0.3um，100%@＞0.45um（4503）；50%@0.5um，100%@＞0.75um（4505）。
激光光源為激光二極管（10年MTTF）；濃度損失為＜5%@2000000顆/ft³；電源采用9～28VDC；通訊協(xié)議方式為Modbus或脈沖。
2、空氣顆粒計(jì)數(shù)及溫度、濕度順序監(jiān)控裝置
除去設(shè)置專用的“遠(yuǎn)程空氣顆粒傳感器”進(jìn)行潔凈室關(guān)鍵部位的空氣技術(shù)參數(shù)監(jiān)測(cè)外，還可以采取另一種模式，即依靠一套順序監(jiān)控裝置，通過美國(guó)電氣工程師協(xié)會(huì)所制定的通訊協(xié)議RS232/485或其它信號(hào)傳輸方式把放置在不同位置上的離散粒子計(jì)數(shù)器的測(cè)量值傳輸?shù)皆O(shè)置在中央控制室或檢測(cè)中心的順序監(jiān)測(cè)控制裝置的接口，供巡查或選擇性監(jiān)測(cè)用。2432順序監(jiān)測(cè)系統(tǒng)
特點(diǎn)：采樣口數(shù)量32；通訊協(xié)議RS232；可選報(bào)警模塊，每個(gè)報(bào)警模塊提供觸點(diǎn)用于16個(gè)端口和RH/溫度，兩個(gè)報(bào)警模塊可以連接到32端口系統(tǒng)；可編程端口順序最多100步。
電源：100～120V；220～250V
多路器尺寸：30.5*31.8*40.6cm（寬*高*深）
控制器尺寸：23.1*12.2*20.6cm（寬*高*深）
適用機(jī)型及其性能：2100，2200，2400，2408應(yīng)用電子廠潔凈室空氣監(jiān)測(cè)和認(rèn)證，層流工作臺(tái)和通風(fēng)供氣管網(wǎng)。
另一種順序監(jiān)測(cè)系統(tǒng)則僅在潔凈室各關(guān)鍵部位設(shè)置空氣采樣口，通過氣溶膠導(dǎo)管將所設(shè)置的多個(gè)采樣口與配置有激光粒子計(jì)數(shù)器及計(jì)算機(jī)的順序監(jiān)測(cè)系統(tǒng)相連。由計(jì)算機(jī)控制激光粒子計(jì)數(shù)器順序與各采樣口的氣溶膠導(dǎo)管相通，由氣泵采入與之相通的空氣采樣口處的空氣，進(jìn)行粒徑與數(shù)量的測(cè)量，并將結(jié)果錄入計(jì)算機(jī)中，其工作原理如下圖：

與前述多臺(tái)激光粒子計(jì)數(shù)器的順序監(jiān)測(cè)系統(tǒng)相比，這種方式雖然成本降低很多，但其作用半徑受到較大限制，同時(shí)由于空氣流動(dòng)時(shí)沿程的顆粒損失，因此測(cè)量精度也遠(yuǎn)不如多臺(tái)激光粒子計(jì)數(shù)器所構(gòu)成的順序監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。